{{{sourceTextContent.title}}}

Ms System para los estudios termales de la desorción de UHV

{{{sourceTextContent.subTitle}}}

El puesto de trabajo del TPD de Hiden proporciona una plataforma versátil para los estudios termales exacto controlados de la desorción (TDS) en el régimen de la presión de UHV a través de una gama de temperaturas a partir del 50 C a C. 1000.

{{{sourceTextContent.description}}}

Los usos comunes incluyen estudios de la desorción de las obleas de silicio y de las capas de la fino-película, cuantificación de la evolución del hidrógeno de los metales. La etapa de la muestra, con la rampa de la temperatura completamente programable a las tarifas a 40 C por minuto, es cubierta por una refrigeración por agua de incorporación del escudo térmico para minimizar la desgasificación y la tarifa fresca del plumón de la entre-muestra. El cargamento y la extracción rápidos de la muestra se permite vía el mecanismo de la cerradura de la carga de UHV y de la transferencia de la muestra, manteniendo calidad primaria óptima del vacío. Las muestras, típicamente en forma de la oblea, se establecen positivamente en la etapa de la muestra para asegurar el contacto termal eficiente con la superficie del calentador. El espectrómetro de masas del tetrapolo, también con la chaqueta refrigerada por agua, se monta con la abertura de la aceptación cerca de la superficie de la muestra para la captura óptima de gases desarrollados. La temperatura de la muestra se combina directamente con el programa suave del control y de la adquisición para la presentación combinada de la especie desarrollada múltiple con temperatura.